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地 址：广东省东莞市寮步镇寮浮路27号10栋3楼
应用领域：
适用于各类晶圆片、COB封装、摄像头模组的精密清洗，IC封装摄像头模组清洁,L ED/芯片支架清洁，BGA基材清洁。
设备特点：
在线真空等离子清洗设备主要包括，上下料系统、物料传输系统、等离子清洗系统、视觉监
控系统、托盘移动机构、传送机构、物料夹取机构、推杆机构、传感器检测系统、控制面板、操作台面和设备框架。
在线真空等离子清洗设备作为一种精密干法清洗设备，可以有效去除污染物，改善材料
表面性能，且具有自动化程度高，清洗效率高、设备洁净度高、适应范围广等优势。
对接前后线体，在线作业
真空腔体清洗物料。
可同时接入两种气体以上
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| 技术参数 | |
| 型号 | PBT-590 |
| 真空系统 | 真空探测：皮拉式真空规 真空泵：油泵TVP |
| 控制系统 | PLC:台达 触摸屏：威纶通 电气部件：施耐德 |
| 铝合金封膜腔体 | 385x320x115mm(LXWXH)可定制 |
| 有效清洗范围产品尺寸 | 210mmx210mm |
| 兼容尺寸 | Max:270x210mmx40mm(长x宽x高） |
| 工作气体 | 无水无油 压缩空气 |
| 设备尺寸 | 1300x1000x1800mm(LXWXH) |
| 清洗效果（水滴角） | 小于20° |
| 清洗尺寸范围 | 210mmx210mmx50mm(长x宽x高） |
| 清洗气路数里 | 2路气体 |
| 清洗气体 | AR/N2/02/CDA/CF4/H2/等 |
| 清洗时间 | 小于60/S |
| 工艺气体流量计范围 | 0-300SCCM |
| 处理温度 | 小于45° |
| 清洗方式 | 在线式 |
| MES | 预留 |
| 扫码 | 预留 |
| 等离子发生器功率 | 0-600可调/13.56MHZ射频 |
| 真空泵抽速 | 40m³/H(双极旋片泵) |
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